通信誉的行波管、工业 CT 用的 X 射线管等真空管、真空电极、真空离子泵等。本文介绍了一个高温脱气炉真空体系从低温泵晋级为安捷伦涡轮分子泵的事例。

　　如下图所示，客户的脱气炉在炉体正下方装置了一台 8 英寸低温泵，低温泵与炉体用插板阀阻隔。该装备低温泵与高温炉体之间传热功率很高，热传递大大约束了冷头的终究温度以及低温泵的抽气速度。

　　为了削减热传递，客户能挑选在低温泵与炉体之间装置水冷挡板，这有助于以保持冷头温度，但需求支付额定的本钱，并添加了体系的复杂性，更糟糕的是，挡板会下降体系的流导，然后形成低温泵对炉体的有用抽速下降。

　　相同，添加低温泵和炉子之间的间隔或许刺进 90 度弯头号会对保持冷头温度有协助，但都会下降体系的流导。

　　绿色曲线是客户现有低温泵的抽速曲线，乍一看，低温泵比分子泵有速度优势，可是，当考虑流导丢失时，其抽气速度的优势就会显着下降。此外，热传递和高温分子的偶尔捕获使得低温泵的冷头温度难以保持在最低点，这也会约束其实践的抽气速度。

　　为了挑选正真合适的分子泵，咱们在 Vactran 软件上选用更切合实践的参数进行了模仿：低温泵体系带有 90 度弯头和 8 英寸水冷挡板；几个类型的安捷伦分子泵也都添加了 90 度弯头（防止炉内的颗粒物落入泵内）。下面是几款真空泵在考虑流导后的实践有用抽速曲线：

　　依据上面的模仿成果，咱们引荐客户挑选了 TV1001 分子泵，并设置了如下的工艺进程：用粗抽泵经过旁路管道将腔室抽到 50 mtorr 以下，然后封闭旁路阀并敞开分子泵（由配套的前级泵供给前级真空）。当腔室压力小于 1E-6 Torr 时发动脱气炉的主动加热进程（根据需求处理的资料和工艺）。

　　与旧的体系比较，改造后的体系升温速度快了 50％；因为不必再忧虑过高的炉温对真空泵功能的影响，该脱气炉现在能够到达 1600 摄氏度的处理温度，更高的工艺温度不只拓宽了设备的使用约束规模，还能够明显的（多达 30%）削减处理时刻（更高的温度下，资料脱气速度更快）。

　　客户用改造后的体系处理了多种不同的资料（钼铼合金、钛、钼、蒙乃尔合金、铪和可伐合金），均取得了很好的作用。

　　下降了低温泵再生停机所带来的功率丢失（本事例每 12-24 小时需求再生一次）；

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